CTS仪器校正率的作用?
性能因素:是用来表述仪器区分合格件和不合格件的能力的一个量化参数。
类似AI学习的过程,仪器通过学习,确定“合格”“不合格”产品的数值。
例如: 标准件(不漏件)的压降=10mBar , 标准件+漏孔(模拟泄漏件)的压降 =100mBar ,那么合格件和不合格件的区分度就是 90mBar 了, 性能因素 = (100-10)/100 = 90% =90PF . 数值越大说明区分得越明显。
最关键的一个区分能力是这样算的: ( 标准件+漏孔的压降 - 标准件的压降 )> 0.3mBar ,那么这个测试是非常可靠的了。 用户只要看 <校准:plr> 菜单下的数据自己知道区分能力即可放心使用。 如果区分能力达不到0.3mBar 则要调整测试节拍即可达到最优的区分能力。
仪器中的PF只是一个给用户做参考的值,根本不影响仪器的测试能力的。 这个PF的计算方法也不止上面描述的一种。可以扩展到两到三种。 CTS的算法是和用户的判断标准关联的,判断标准调得越低PF算出来就越低。它仅是一个死板的参考值,不影响任何东西。
1. 最小PF 这个参数设立的目的是怕客户在校准时出错,比如漏孔没有打开。系统不稳定等,仪器就能识别出来,避免校准出差错。
2. 现在部分客户对校准的了解,不需局限于PF具体是多少,只要根据 漏和不漏的压降差大于 0.1 ~ 0.3mBar 这个原则就可以快速判断仪器工作得可不可靠。
3. 这个也是CTS直压比差压好的一个地方,CTS的传感器可以精确地测试压降并且能测出非常大的压降,这是差压机器所不具备的重要特性。
CTS的算法是和用户的判断标准关联的,判断标准调得越低PF算出来就越低。 然后把仪器的判断标准设为4sccm再校准一次,这时pf应该会高一倍。
1. 冷机第一次测试压降会偏大.
2. 冷机校准算出来的PF会低。
3. 所以还是建议校准的时候先正常地按工作的状态先测试两三次然后再校准。